原位薄膜應力測試儀的主要特點：
1、MOS 多光束傳感器技術。
2、單Port(樣品正上方)和雙Port(對稱窗口)系統設計。
3、適合MOCVD, MBE, Sputter，PLD、蒸収系統等各種真空薄膜沉積系統以及熱處理設備等。
4、薄膜應力各向異性測試和分析功能。
5、生長速率和薄膜厚度測量。（選件）
6、光學常數n&k 測量。（選件）
7、多基片測量功能。（選件）
8、基片旋轉追蹤測量功能。（選件）
9、實時光學反饋控制技術，系統安裝時可設置多個測試點。
10、專業設計免除了測量丌受真空系統振動影響。
原位薄膜應力測試儀的測試功能：
1、實時原位薄膜應力測量。
2、實時原位薄膜曲率測量。
3、實時原位應力*薄膜厚度曲線測量。
4、實時原位薄膜生長全過程應力監控等。
